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Muetec
产品概述: Muetec设备是一款广泛适用于硅基半导体以及化合物半导体行业的多功能量测和检测设备,Muetec设备搭配多个波段的光源,从DUV到UV、可视光、红外波段,用以实现不同量测的需求。销售联系方式:胡佳俊 18918393271。
设备简介:

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Muetec设备是一款广泛适用于硅基半导体以及化合物半导体行业的多功能量测和检测设备,Muetec设备搭配多个波段的光源,从DUV到UV、可视光、红外波段,用以实现不同量测的需求。自动对焦功能??榧盎凳直酆推?,可以实现对多尺寸样片( 6”和8”)的全自动关键线条宽度和套刻检测、缺陷检测, 以及薄膜厚度量测,其高重复性和高稳定性的特性使其适用于大规模生产型客户。

主要应用:

◆Critical Dimension关键线宽量测;

◆套刻精度量测;

◆Pattern 缺陷检测;

◆薄膜厚度量测;

◆快速Marco缺陷检测。

应用行业:

◆ 化合物半导体:GaAs,InP, SiC,GaN 

◆ 硅基器件前段:功率器件,MEMS,射频MEMS

◆ 硅基器件后段:8”和12”的封装及bumping线

◆ LED、光通讯、石英材料类

◆ 掩膜版的CD量测和缺陷检测

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