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Candela®8420/8400
产品概述: Candela?8420/8400系统服务于光电子、LED、通信和其他化合物半导体市场。销售联系方式:马云昊 18918393260。
设备简介:

◆ Candela?8420/8400系统服务于光电子、LED、通信和其他化合物半导体市场。改设备采用经典的Candela多通道检测技术和严谨的缺陷分类算法以为客户实现产品良率为目的。Candela?8420/8400技术采用专有的OSA(光学)表面分析器)架构,通过测量散射强度,形貌变化,样品表面反射率和相位计算的方式,用以实现大范围的自动检测和缺陷分类(DOI);统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准,可以给出检测样品合格与否的判断。在化合物外延领域拥有很高的市场占有率。

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◆ Candela?8420/8400适用于Si晶圆、GaAs、InP, GaN、蓝宝石基片及蓝宝石外延片表面缺陷检测分析,包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹。该设备可以兼容透明片和不透明片。

主要特点:

◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品,也可按需订制方片和碎片夹具; 

◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷检测; 

◆ 可侦测的缺陷类型:颗粒,划伤,突起,凹坑,水渍等; 

◆ 用户可根据产能选择手动上片型8400或者自动传输模式8420;  

◆ 高精度的颗粒缺陷灵敏度(80nm直径); 

◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部,这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。 

◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级,防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有優秀的售后服务保障体系。

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